维基教科书

半导体器件和技术

序言

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半导体的历史

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半导体器件物理

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载流子

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载流子的传输

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半导体材料

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硅

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锗

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其它

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半导体器件

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二极管

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MOS器件

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NMOS

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PMOS

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CMOS

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双极型器件

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其它(待续)

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Bi-CMOS

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半导体工艺

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晶圆的生长

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薄膜的生长

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氧化

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淀积

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光刻

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蚀刻

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工艺整合

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半导体生产环境及设备

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净化车间

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其它（待续）

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其它（待续）

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