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半导体器件和技术
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目录
1
序言
2
半导体的历史
3
半导体器件物理
3.1
载流子
3.2
载流子的传输
4
半导体材料
4.1
硅
4.2
锗
4.3
其它
5
半导体器件
5.1
MOS器件
5.1.1
NMOS
5.1.2
PMOS
5.1.3
CMOS
5.2
双极型器件
5.3
其它(待续)
5.3.1
Bi-CMOS
6
半导体工艺
6.1
晶圆的生长
6.2
薄膜的生长
6.3
氧化
6.4
淀积
6.5
光刻
6.6
蚀刻
6.7
工艺整合
7
半导体生产环境及设备
7.1
净化车间
7.2
其它（待续）
8
其它（待续）
序言
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半导体的历史
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半导体器件物理
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载流子
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载流子的传输
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半导体材料
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其它（待续）
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其它（待续）
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